一年后最终克洛斯特曼成功的制造出了6个镜头的重复曝光光刻机的原型机,并在1967年5月的Natlab展会上展出它,这台设备在当时已经是最先进的技术了。
但是在Natlab的研究展览上,飞利浦的高管却看不到这个技术的价值,还没等克洛斯特曼给飞利浦的董事迪克.努尔德霍讲完,这位老兄就去旁边展台参观,因为那边有一台带有自动平衡功能的新型洗衣机引起他的兴趣,就这样把目瞪口呆的克洛斯特曼晾在原地。
多年以后的现在,ASML CEO 彼得.温宁克最近表示因为芯片不够用,于是就把洗衣机拆了把芯片拔下来给装在光刻机上,这不是段子是真事!有时历史是个有趣的轮回。
尽管Natlab有着深厚的技术底蕴,克洛斯特曼的光刻机确实也做的不错,但毕竟是原型机,有优点,但是缺点也一大堆,设备不够成熟。而且当时光刻机市场也不大,飞利浦虽然自己用,但是也没想好到底要不要把光刻机项目商业化,犹犹豫豫,一拖再拖。
到1980年代初,自身财务状况也不佳的飞利浦思来想去最后决定关停光刻机项目,但是也不否认它的商业价值,于是去美国找Perkins Elmer、GCA、Cobilt、IBM等公司谈了一圈,但是最终没人愿意合作。
1983年,ASM International(ASM国际)的创始人普拉多(Athur Del Prado)听说后,主动找到飞利浦寻求合作,高傲的飞利浦一度看不起这家伙,一直到一个飞利浦高管在报纸上认识这家伙还是有点钱才决定接触一下。一年后,飞利浦勉强同意设立了持股50:50的合资公司。
这位普拉多老兄也颇为传奇,现在有三家同样挂ASM名字的半导体设备公司,包括ASML,ASMi,还有ASMPT,都和他有千丝万缕的联系。现在这三家公司都是各种细分领域的佼佼者,所以某种意义上来讲,这位老兄也是推动集成电路工艺发展的重要功臣之一,没有他不可能有现在的ASML。
改变这个老古董
PAS 5500虽然没有立刻成为美国主流厂商的选择因为他们依然觉得尼康也不错,但是韩国市场上大获成功,订单源源不断飞来,客户们疯狂购买ASML的设备,以最快速度建立新的晶圆工厂并进行生产,仅供韩国三星就要至少制造100个步进式光刻机镜头。
ASML突然发现了一个问题,如何满足这源源不断的订单需求?蔡司什么时候才能及时交付那些该死的镜头?
前文提到过,ASML踢掉了法国CERCO之后,开始与德国蔡司合作开发光刻机镜头组,于是蔡司就成了ASML核心部件镜头组的供应商。但是蔡司和ASML两家公司在文化上差异极大,ASML是一家年轻的且雄心勃勃的公司,拥有着无限的能量,蔡司是一家历史可以追溯到19世纪中叶的家族企业,一个不折不扣的老古董。
TWINSCAN系统——棺材板上的第二颗钉子
2020年,ASML出货了史上第一套能够每小时处理超过300片晶圆的光刻系统——而这得益于该系统上的最新的TWINSCAN平台技术。
TWINSCAN,双扫描工件台,这项技术ASML是保持竞争力的最大秘诀之一。
早在90年代初,当时PAS 5500出货的时候,精密器械和干涉仪专家Bert van der Pasch教授也正在进行的干涉仪系统和晶圆传送模组进行研究,随后他加入ASML成为光刻扫描仪位置测量系统的专家。