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2019-06-10

PPT--高Na EUV光刻:扩展摩尔定律

来源:ASML 目前配备0.33 NA镜头的EUV系统已经准备开始批量生产,同时围绕NA为0.55的EUV曝光工具展开的研究活动也加快了进度。这种光刻机的目的是未来十年内扩展摩尔定律,达到8nm的最终分辨率。目前已

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未知领域 来自火星

https://www.optbbs.com/?1154674

这家伙很懒,什么都没有留

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